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石蜡基矿物油适用于工业和科学领域的大多数真空泵应用。与含有许多添加剂的机油不同，真空泵油添加剂 限于耐腐蚀，抗氧化和可能发泡。
对于可能含有高百分比的氧，酸和有害气体的应用，可以使用替代的合成液。作为使用许多危险，腐蚀性和自燃性气体的半导体工业（计算机芯片）的开发，已经开发了真空泵，其在泵的泵送室区域中没有润滑剂。这些被称为干泵，是另一个讨论的主题。在大型旋转活塞真空泵中使用的典型油是矿物油，其已经过蒸馏过程以减少其蒸气压。这些真空泵具有0.010托（10微米，1×10 -2托或0.0133毫巴）的 真空，有时称为“空白”真空。该油的粘度与SAE 30油相似。SAE 30粘度真空泵油也用于较小的旋转叶片设计泵，由来自电机的V形皮带传动驱动。在较新设计的直接驱动真空泵中，运行速度约为1750 rpm，使用了 薄的SEA 20真空泵油。在某些应用中，真空泵可能比室温 冷，可以使用SAE 10油。
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